超纯水的制备
对于用水大户以及对水质要求较高的电子行业来说,要解决好节约用水和水资源的循环利用是令人头痛的难题。大部分电子行业的超纯水主要采用反渗透工艺生产。采用反渗透膜装置可有效地去除水中的小分子有机物、可溶性盐类,可有效地控制水的硬度。半导体电子工业所用的高纯水,以往主要是采用化学凝集、过滤、离子交换等方法制备,这些方法的最大缺点是流程复杂、再生离子交换树脂的酸碱用量大、成本高。随着电子工业的发展,对生产中所用纯水水质提出了更高的要求。由膜技术与离子交换法组合过程所生产的纯水中杂质的含量已接近理论纯水值。
目前,美国电子工业已有90%以上釆用了反渗透和离子交换相结合的装置。据报道,在原水进入离子交换系统以前,先通过反渗透装置进行预处理,可节约成本20%〜50%。
许多类别的工业污水中常含有较高的盐度,釆用离子交换吸附的脱盐方法不仅处理成本高,而且离子吸附材料的再生过程中也会产生新的水污染问题。反渗透由于其运行成本低,脱盐效率高,在工业废水脱盐处理中有着广泛的应用。